ジェイテクトが新開発したSiC半導体用熱処理装置の魅力とは

ジェイテクトが誇る最新の熱処理ソリューション

愛知県刈谷市に本社を置く株式会社ジェイテクトのグループ企業、ジェイテクトサーモシステムが新たに開発したSiCパワー半導体向け熱処理装置が注目を集めています。新型熱処理装置は、特にコンタクトアニールと活性化アニールの工程において生産性の向上に寄与するとされています。

新機種の紹介

ジェイテクトサーモシステムが開発した的新機種には、コンタクトアニールシステム「RLA-4200-V」と活性化アニールシステム「VF-5300HLP」があります。これらの装置は、2024年12月に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2024」において初めて出展され、その目玉として注目されること間違いなしです。

生産性向上の秘訣

これまで使用されていたRLA-4100-VやRLA-3100-Vは、ウエハーを一枚ずつ処理する枚葉式の構造で、そのため生産性には限界がありました。これに対し、RLA-4200-Vはプロセスチャンバを2台搭載し、同時にウエハーの処理が可能です。これにより熱処理性能が倍増し、生産性は従来比で2倍から2.4倍に向上しました。また、本体の設置面積も大幅に削減され、効率的な運用が実現されています。

ジェイテクトの目指す未来

ジェイテクトは「モノづくりとモノづくり設備でモビリティ社会の未来を創るソリューションプロバイダー」を目指しており、そのために様々な技術や知見を集約したテクノロジープラットフォームを活用しています。このプラットフォームにより、社内外の困りごとに対する具体的な解決策を提案する「ソリューション共創センター」の開設も進めています。